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神港精機株式会社
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ナノインプリントモールド用ICPエッチング装置「SERIO」の基本構成よりチャンバ内構成やガス系をメタル用にカスタマイズした最新型エッ...
神港精機株式会社
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エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従...
神港精機株式会社
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EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。 ガス系やプラズマモードの切...
神港精機株式会社
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SERIO は高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の...
神港精機のエッチング装置4製品中の注目ランキング
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