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神港精機のエッチング装置

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4 点の製品

神港精機株式会社

ICPプラズマ エッチング装置 SERIO

230人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

SERIO は高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現しました...


神港精機株式会社

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

300人以上が見ています

最新の閲覧: 15時間前

ナノインプリントモールド用ICPエッチング装置「SERIO」の基本構成よりチャンバ内構成やガス系をメタル用にカスタマイズした最新型エッチング装置です。 半...


神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

320人以上が見ています

最新の閲覧: 58分前

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。 ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチン...


神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

340人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従来のMEMSプロセスSi深...


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