神港精機のエッチング装置

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神港精機株式会社

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

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ナノインプリントモールド用ICPエッチング装置「SERIO」の基本構成よりチャンバ内構成やガス系をメタル用にカスタマイズした最新型エッチング装置です。 半...


神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

310人以上が見ています

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エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従来のMEMSプロセスSi深...


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