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テルモセラ・ジャパンのエッチング装置

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nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A-テルモセラ・ジャパン株式会社

テルモセラ・ジャパン株式会社

nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A

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■概要 <30W (制御精度10mW) 低出力 RFエッチングによるダメージレスエッチング欧州アカデミックパートナーとの共同開発技術「Soft-Etching」テクノロジー。英...


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