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項目別
移動範囲 mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3双方向再現性 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5真直度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5平坦度 µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100耐荷重 N
100 - 200 200 - 500センサー解像度 nm
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