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対応ウェハーサイズ インチ

0 - 4 4 - 6 6 - 8 8 - 10

プレート回転速度 min-1

0 - 70 70 - 100 100 - 200

電源仕様 V

50 - 120

重量 kg

0 - 50 50 - 150
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ハイソルのCMP装置

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自動CMP装置 Tribo/Orbisシリーズ-ハイソル株式会社

ハイソル株式会社

自動CMP装置 Tribo/Orbisシリーズ

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■特徴 ・COF (摩擦係数) やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出...


ケミカルポリッシング装置 CP4000-ハイソル株式会社

ハイソル株式会社

ケミカルポリッシング装置 CP4000

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3 ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ 卓上型精密研磨装置 LP70-ハイソル株式会社

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ケミカルポリッシング装置 CP4000

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6 ウエハーボンディング装置 WSB2 ウエハーボンダー 1WBS2 (4インチタイプ) -ハイソル株式会社

ウエハーボンディング装置 WSB2 ウエハーボンダー 1WBS2 (4インチタイプ)

ハイソル株式会社

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