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ヤマトマテリアル株式会社
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■概要 同軸石英バレル型プラズマアッシャープラズマクリーナー。パワー半導体、光通信デバイスなどの化合物半導体SiC、GaN、酸化ガリウム等のウエハのレジス...
ヤマトマテリアル株式会社
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■概要 同軸型バレルアッシャー、等方性プラズマ装置です。50枚のウエハを一括処理可能な同軸縦型プラズマアッシャー装置。永年ご使用になったアッシャー装置...