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株式会社魁半導体
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SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。 ■製品概要 ・プラズマエッチャーCPEシリーズに、ステージ加熱付きが新登場 ...
株式会社魁半導体
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■製品概要 ・ハンディタイプで扱いが容易 ・コントロールボックスは卓上タイプの省スペース ・使用するガスによって 親水化 ・空気でプラズマ生成 ・ハンディ...