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#半導体製造
#ディスプレイ製造
#パワーデバイス製造
加速エネルギー
中エネルギー型
高エネルギー型
ビーム構造
スキャン型
特徴
高電流型
高精度型
エネルギー keV
5 - 100
300 - 1,000
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6 点の製品
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■概要 高温搬送の信頼性とスループットをIMPHEATからさらに進化させた高温イオン注入装置 特長 ■業界最高の生産性を持つ高温イオン注入...
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■概要 業界唯一のレーザー、パワーデバイス向け水素注入装置 特長 ■業界唯一のレーザー、パワーデバイス向け水素注入装置 ・高生産性を...
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■概要 ナノ・テクノロジー・ノードに対応した高い生産性とプロセス信頼性を有した豊富な実績の中電流イオン注入装置 特長 ■最適なライ...
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■概要 ナノ・テクノロジー・ノードに対応した高い生産性とプロセス信頼性を有した豊富な実績の中電流イオン注入装置 特長 ■最適なライ...
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■概要 低温ポリシリコン薄膜トランジスタに代表される高精細ディスプレイ駆動用薄膜トランジスタ製造における電気特性制御プロセスに不...
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■概要 低温ポリシリコン薄膜トランジスタに代表される高精細ディスプレイ駆動用薄膜トランジスタ製造における電気特性制御プロセスに不...
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