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フジ・インバックのイオン注入装置

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ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® ITシリーズ (イオン注入装置向けモデル)-フジ・インバック株式会社
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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® ITシリーズ (イオン注入装置向けモデル)

20人以上が見ています

■アプリケーション ・イオン注入 ■特長 ・軽ガス排気に特化 ・ニッケルコートローターにより高耐性を実現 ・温度管理システム※により結露や堆積物を低減 (※...


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