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フジ・インバックのイオン注入装置

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フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (ハイブリッドベアリング) HiPace® ITシリーズ (イオン注入装置向けモデル)

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■アプリケーション ・イオン注入 ■特長 ・軽ガス排気に特化 ・ニッケルコートローターにより高耐性を実現 ・温度管理システム※により結...




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