神港精機のプラズマエッチング装置
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神港精機株式会社
プラズマ エッチング装置 EXAM
280人以上が見ています
EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。 ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチン...
神港精機株式会社
高密度 プラズマ装置 SWP
240人以上が見ています
大面積に均一な高密度プラズマが生成可能な表面波プラズマ (SWP) を採用し、アッシング・表面処理等多くの用途で活躍中です。 H2ラジカルによるダメージレス...
神港精機株式会社
ICPプラズマ エッチング装置 SERIO
220人以上が見ています
SERIO は高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現しました...
