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神港精機のプラズマエッチング装置

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4 点の製品

神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

740人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

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エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従...


神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

690人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

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EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。 ガス系やプラズマモードの切...


神港精機株式会社

高密度 プラズマ装置 SWP

620人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

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大面積に均一な高密度プラズマが生成可能な表面波プラズマ (SWP) を採用し、アッシング・表面処理等多くの用途で活躍中です。 H2ラジカ...


神港精機株式会社

ICPプラズマ エッチング装置 SERIO

500人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

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162.9時間 返答時間

SERIO は高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の...


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神港精機のプラズマエッチング装置4製品中の注目ランキング

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