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Zでの双方向再現性 nm

0 - 1

1 - 5

5 - 10

Z単位のシステム解像度 nm

0.5 - 0.8

Z単位の分解能 nm

0.2 - 0.4

Z単位の剛性 N/μm

3 - 4

Z単位の移動範囲 µm

50 - 100

回転範囲 mrad

0 - 50

ピーアイ・ジャパンの傾斜ステージ

3 点の製品がみつかりました

3 点の製品

ピーアイ・ジャパン株式会社

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

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■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・...

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