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項目別
使用用途
#半導体製造
#クリーンルーム管理
#自動搬送
クリーン度
Class 2
可搬質量 kg
1 - 5
5 - 10
繰り返し精度 mm
0.05 - 0.1
0.1 - 0.2
本体質量 kg
0 - 50
定格電圧 V
50 - 250
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3 点の製品
PHT株式会社
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最新の閲覧: 27分前
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クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~180°) の動作が可能で...
PHT株式会社
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■製品特徴 本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~18...
PHT株式会社
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57.3時間 返答時間
■製品特徴 本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ...
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