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分解能 nm

0 - 1

周囲温度 ℃

-20 - 0 0 - 10 10 - 40 40 - 50 50 - 60

スポット径 μm

10 - 100
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日本レーザーのエッジセンサー

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非接触型厚さ測定装置 VarioMetric-株式会社日本レーザー

株式会社日本レーザー

非接触型厚さ測定装置 VarioMetric

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21.7時間 返答時間

■レーザー干渉を利用した厚さ測定装置 ・厚膜 (1～500μm) 測定用 ・極小スポットサイズ ・小型・高速・高精度 半導体業界では現在、バ...


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