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定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 40使用用途
誘導加熱 プラズマ生成 半導体製造 ディスプレイ製造3 点の製品がみつかりました
3 点の製品
日本高周波株式会社
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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...
日本高周波株式会社
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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...
日本高周波株式会社
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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...
日本高周波の高周波電源3製品中の注目ランキング
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