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日本高周波の高周波電源

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日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波電源 (915MHz)

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本装置は、電磁石型マグネトロンを使用した、915MHzマイクロ波電源です。最大出力、5kWと30kWのタイプがあり、半導体製造用のプラズマCV...


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