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日本高周波の高周波電源

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7 点の製品

日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波電源 (マグネトロン)

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本装置はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造に不可欠なマイクロ波電源です。300Wから10kWまで、高安定、低リ...


日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波電源 (915MHz)

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本装置は、電磁石型マグネトロンを使用した、915MHzマイクロ波電源です。最大出力、5kWと30kWのタイプがあり、半導体製造用のプラズマCV...


日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源

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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...


日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 60MHz 高周波電源

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オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。


日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 VHF帯 (100MHz) 高周波電源

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オールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。


日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 UHF帯高周波電源

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本装置は、オールソリッドステート化されたマイクロ波電源で、 2,450MHzでも高安定の出力が確保できます。 ご要望により出力はCW及びパ...


日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 VHF帯 (40.68MHz) 高周波電源

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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高...


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