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サーマプレシジョンの露光装置

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株式会社サーマプレシジョン

半導体後工程・電子部品用 8インチ一括投影露光装置 MRS

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特長 ・8インチ以下は「一括露光方式」、12インチor□300mm基板は「ステップ&リピート露光方式」の選択が可能 ・露光エリアが広い為、高...


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