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ブルカージャパンの膜厚計

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ブルカージャパン株式会社

パターンウエハのメタル膜厚・組成評価用、高速XRR & XRF測定装置 Sirius RF-T

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■パターンウェハのメタル膜厚・組成評価用高速XRP&XRF測定 Bruker Sirius RF-Tは既に世界の多くのファブでご使用頂いておりますJVX 7300RF-Tの後継機種で、微...


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