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項目別

動作時間 sec

1 - 2 2 - 3

重量 kg

0 - 100 100 - 200

動作範囲 m²

-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000

タツモの搬送ロボット

6 点の製品がみつかりました

6 点の製品

タツモ株式会社

クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ

140人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせセンターリングを高速で行うユニットです。 ■製品特徴 ・ウェーハセンタリング、角度合...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 エッジホールド式 MAF-Sシリーズ

190人以上が見ています

最新の閲覧: 16時間前

裏面非接触でウェーハへのパーティクル汚染を最小限に抑えた300mm対応のメカクランプ方式のアライナーです。 ■製品特徵 ・化合物半導体...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット

160人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット

170人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

本製品は、Φ300mmウエーハに対応した搬送ロボットです。 ■製品特徴 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・最適ソフトウェアによ...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット

220人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモ...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル

220人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。 ■製品特徴 ・ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。 ・最...


🏆 注目ランキング

タツモの搬送ロボット6製品中の注目ランキング

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