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使用用途

#半導体製造搬送

重量 kg

0 - 100

動作範囲 m²

0 - 1,000

タツモの搬送ロボット

4 点の製品がみつかりました

4 点の製品

タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット

370人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット

340人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

本製品は、Φ300mmウエーハに対応した搬送ロボットです。 ■製品特徴 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・最適ソフトウェアによ...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ

300人以上が見ています

本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせセンターリングを高速で行うユニットです。 ■製品特徴 ・ウェーハセンタリング、角度合...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 エッジホールド式 MAF-Sシリーズ

360人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

裏面非接触でウェーハへのパーティクル汚染を最小限に抑えた300mm対応のメカクランプ方式のアライナーです。 ■製品特徵 ・化合物半導体...


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