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株式会社サンバック
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マルチスパッタSP-3300Mは3源スパッタ装置で、各カソードにおいてRFとDC2つのソースを使用することが出来ます。またRFとDCの同時スパッ...
株式会社サンバック
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両サイド型スパッタ装置SP-27000Dは厚みのある、あるいは立体的形状の基材へ成膜するために設計された装置です。2基のターゲットを有し...
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枚葉式スパッタ装置SP-12000Mは基材 (4インチまたは3インチウエハ) 25枚用のカセットを1個収納できるロード室 (アンロード室を兼ねる) ...
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直線移動式スパッタ装置SP-35000Dは大型の基材取付台が、長方形のターゲットの下を直線的に移動します。大型の基材取付台は、少数の大型...
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インライン式スパッタ装置SP-2500Rは長尺の帯状、紐状基材に成膜するための装置です。基材の巻出し室 (ロード室) の後及び巻取り室 (ア...
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バレル型スパッタ装置SP-163000Dは粉粒体、小片、小球等、基材同士が接触しても問題のない場合の成膜に適しています。回転バレル内に収...
株式会社サンバック
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本装置は粉末材料に金属等をスパッタする目的で開発された装置です。バレル内に粉末材をセットし、バレルが回転することにより粉末材全...
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本装置は、対向陰極型マグネトロンスパッタ装置で、2対の陰極を設置し、基板回転によって2種類の薄膜を交互に成膜が可能です。
サンバックの成膜装置8製品中の注目ランキング
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