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ジャパンクリエイトの成膜装置

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ジャパンクリエイト株式会社

圧電膜形成スパッタリング装置

化学業界用 電子・電気機器業界用

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■特徴 ・単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜が可能 ・プラズマエミッションモニターを搭載により圧電特性低下に寄与する元素検知可能 ・...


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