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#機能性材料研究

成膜方式

蒸着法

スパッタリング法

構成環境

真空型

低圧型

プラズマ利用有無

プラズマ援用型

高周波プラズマ型

基板搬送方式

回転基板型

基板サイズ mm

100 - 150

150 - 200

設置面積 m²

1 - 5

テルモセラ・ジャパンの成膜装置

4 点の製品がみつかりました

4 点の製品

テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-GB】 グローブボックス薄膜実験装置 MiniLab-026-GB

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■概要 本装置は、MiniLab シリーズのチャンバー部をグローブボックス作業ベンチ内に、制御ラック部をベンチ下に収納した装置です。スパ...


テルモセラ・ジャパン株式会社

MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置

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最新の閲覧: 1日前

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■MiniLab 目的、ご要望に応じた成膜条件を満たすためのコンポーネント・制御機を組み合わせて構成いたします。高性能セミカスタムメイド...


テルモセラ・ジャパン株式会社

nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ

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特徴 ■高品質膜 研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を揃えます。nanoシリーズは魂魄と...


テルモセラ・ジャパン株式会社

蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A

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最新の閲覧: 1時間前

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■概要 nano benchtop シリーズのラインナップに新たに加わった「蒸着」「スパッタ」混在型、” 3-in-1” マルチ薄膜実験装置 小型チャンバ...


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