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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、...
株式会社イワキ
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■耐腐食・耐熱性を考慮したベローズ式エアーポンプ 基本特性はAPNシリーズと同等です。BAシリーズは耐熱性・耐食性をさらに強化したハイ...
2種類の品番
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
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