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項目別
最大吐出量 L/min
0 - 5
5 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 200
最大運転吐出圧力 MPa
0 - 0.1
0.1 - 0.2
0.2 - 0.3
液温範囲 ℃
0 - 100
100 - 200
供給エアー圧力範囲 MPa
0 - 0.2
0.2 - 0.4
0.4 - 0.6
0.6 - 0.8
接続口径 mm
20 - 25
25 - 35
最大到達真空度 kPaG
-75 - -65
最大エアー消費量 NL/min
0 - 10
10 - 100
100 - 200
200 - 400
400 - 700
700 - 1,500
最大ストローク数 spm
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 250
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株式会社イワキ
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■低脈動 独特の駆動メカニズムがポンプ脈動を打ち消す最適な位相にベローズの動きを制御。脈動が極めて少ない運転を実現しています。 ■...
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■高速ストローク ポンプストロークの高速化 (Max.240spm※) により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 ※ストローク数は機種により...
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■高速ストローク 高速ストローク (Max.200spm：FS-80NT型) で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。 ■コンタミフリー設計 接液部...
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■高温大流量移送 Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO (SPM) やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比...
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■高圧・長寿命 肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3 – 4倍長...
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■省エネ設計 空気室のデッドボリュームを極力小さくして、エアー消費量の低減を図りました。 ■中温タイプと高温タイプ FFシリーズは中...
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■中温仕様の2タイプ 横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-4...
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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、...
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
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■耐腐食・耐熱性を考慮したベローズ式エアーポンプ 基本特性はAPNシリーズと同等です。BAシリーズは耐熱性・耐食性をさらに強化したハイ...
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イワキのベローズポンプ16製品中の注目ランキング
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