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最大吐出量 L/min
0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100最大運転吐出圧力 MPa
0 - 0.1 0.2 - 0.3液温範囲 ℃
0 - 100 100 - 200供給エアー圧力範囲 MPa
0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6接続口径 mm
10 - 20 20 - 25 25 - 35最大到達真空度 kPaG
-75 - -65最大エアー消費量 NL/min
0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500最大ストローク数 spm
0 - 50 100 - 150 150 - 200 200 - 2508 点の製品がみつかりました
8 点の製品
入江株式会社
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■耐腐食・耐熱性を考慮したベローズ式エアーポンプ 基本特性はAPNシリーズと同等です。BAシリーズは耐熱性・耐食性をさらに強化したハイ...
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
入江株式会社
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■中温仕様の2タイプ 横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-4...
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■省エネ設計 空気室のデッドボリュームを極力小さくして、エアー消費量の低減を図りました。 ■中温タイプと高温タイプ FFシリーズは中...
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ダンパー不要で低脈動を実現し、トータルコストの削減に貢献 枚葉プロセスに適した優れた負荷追従性による安定した運転を実現します ■...
入江株式会社
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ポンプストロークの高速化により 小型・軽量・ローコスト化を実現 ■高速ストローク ポンプストロークの高速化 (Max. 240 spm) により小...
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■高速ストローク 高速ストローク (Max.200spm:FS-80NT型) で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。 ■コンタミフリー設計 接液部...
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■高圧・長寿命 肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3〜4倍長寿...
入江のベローズポンプ8製品中の注目ランキング
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