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神港精機のプラズマ処理装置

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神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

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エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従...




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