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3 点の製品
神港精機株式会社
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真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...
神港精機株式会社
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600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。
神港精機株式会社
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真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...
神港精機のプラズマCVD装置3製品中の注目ランキング
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