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神港精機のプラズマCVD装置

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3 点の製品

神港精機株式会社

薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置

270人以上が見ています

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 プラズマCVD装置

340人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。


神港精機株式会社

薄膜形成装置 ロードロック式 プラズマ重合装置

250人以上が見ています

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...


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