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パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。 EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄...
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反射型分光エリプソメーター (Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE) は、エリプソメーターをベースにした反射率計で、品質管理などにおける高速な膜...