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北海光電子のALD装置

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Atomic Layer Deposition (原子層堆積) -株式会社北海光電子

株式会社北海光電子

Atomic Layer Deposition (原子層堆積)

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■製品概要 真空チャンバー内容基板上に、次のサイクルを繰り返し行うことにより、原子層を一層ずつ積み上げます。 ・ヒートコントロールにより有機金属分子...


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