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使用用途

#凹凸覆膜

#絶縁層

機能

単層ALD

温度管理

高温ALD

処理基板 ¢mm

50 - 150

北海光電子のALD装置

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1 点の製品

株式会社北海光電子

Atomic Layer Deposition (原子層堆積)

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■製品概要 真空チャンバー内容基板上に、次のサイクルを繰り返し行うことにより、原子層を一層ずつ積み上げます。 ・ヒートコントロー...




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