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最高使用圧力 MPa

25 - 35 35 - 45

最大流量 L/min

0 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 80 80 - 150 150 - 300 300 - 500 500 - 1,000

定格流量 L/min

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000

ステップ応答 ms

0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 35

使用圧力 MPa

25 - 35 35 - 65

使用温度範囲 ℃

-40 - 40 40 - 80 80 - 120 120 - 200
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