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項目別
制御方式
サーボ制御型
最高使用圧力 MPa
25 - 35
35 - 45
最大流量 L/min
0 - 10
10 - 20
20 - 40
40 - 80
80 - 150
150 - 300
300 - 500
500 - 1,000
定格流量 L/min
0 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 300
300 - 500
500 - 1,000
ステップ応答 ms
0 - 5
5 - 10
10 - 15
15 - 20
20 - 35
使用圧力 MPa
25 - 35
35 - 65
使用温度範囲 ℃
-40 - 40
40 - 80
80 - 120
120 - 200
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