Was ist ein Gerät zur Resistbeschichtung?
Geräte zur Resistbeschichtung werden verwendet, um Resistmaterial auf die Oberfläche eines Zielobjekts, z. B. eines Substrats, aufzutragen. Ein Resistmaterial ist ein elektronisches Material, das aus einem Harz besteht, das lichtempfindlich ist.
Geräte zur Resistbeschichtung können je nach Beschichtungsmethode in Spin-Coater und Spray-Coater unterteilt werden. Erstere, die Spin-Coater, werden im Allgemeinen für die Resistbeschichtung verwendet. Spin Coater können Schichten von einem bis zu mehreren zehn Mikrometern Dicke aufbringen und eignen sich für die Beschichtung flacher Oberflächen.
Sprühbeschichter werden für die Beschichtung dreidimensionaler Objekte mit vielen Oberflächenwellen eingesetzt.
Anwendungen von Geräten zur Resistbeschichtung
Die von Geräten zur Resistbeschichtung aufgebrachten Resistmaterialien sind Materialien, die bei der Verarbeitung von Halbleitern verwendet werden. Daher werden Geräte zur Resistbeschichtung häufig in den Halbleiterherstellungsprozess integriert.
Resistmaterialien werden z. B. als Fotomasken in der Laserbearbeitung verwendet. Resistmaterialien können vom Bediener manuell aufgetragen werden, aber es kann schwierig sein, einen gleichmäßigen Schichtdruck und andere Gleichmäßigkeiten zu erreichen. Wenn es Bereiche gibt, in denen die Beschichtung nicht aufgetragen wird, oder wenn die Schichtdicke unzureichend oder ungleichmäßig ist, kann die nachfolgende Verarbeitung nicht ordnungsgemäß durchgeführt werden und die Qualität des Produkts ist unterschiedlich.
Ein gleichmäßiger Auftrag des Resistmaterials durch Geräte zur Resistbeschichtung ist für die Qualitätskontrolle sehr wichtig.
Funktionsweise der Geräte zur Resistbeschichtung
Wie bereits erwähnt, sind Spin Coater und Spray Coater die wichtigsten Geräte zur Resistbeschichtung. Spin Coater und Spray Coater unterscheiden sich in ihren Beschichtungsmethoden:
Spin Coater (Schleuderbeschichtung)
Spin Coater nutzen die Zentrifugalkraft zum Auftragen der Schicht. Nachdem ein Tropfen des Lackmaterials auf das zu beschichtende Objekt gegeben wurde, wird dieses mit hoher Geschwindigkeit gedreht. Die durch diese Drehung erzeugte Zentrifugalkraft sorgt dafür, dass sich das Lackmaterial in alle Ecken des Objekts verteilt.
Bei der Verwendung eines Spin Coaters kann die Ausbreitung des Resistmaterials an Wellen auf der Oberfläche stoppen, was das Auftragen des Resistmaterials auf Objekte mit stark gewellten Oberflächen erschwert. In solchen Fällen kann ein Sprühbeschichter verwendet werden.
Spray Coater (Sprühbeschichter)
Ein Spray Coater ist ein Gerät, das eine Sprühzerstäubungsmethode für die Applikation verwendet. Das Resistmaterial wird aufgesprüht, um die Schicht aufzutragen. Der Mechanismus für den gleichmäßigen Auftrag variiert von Maschine zu Maschine, wobei die Sprühdüse bewegt wird, um jeden Teil der Beschichtung aufzutragen, oder die Sprühdüse fixiert bleibt, während der zu beschichtende Gegenstand gedreht wird.