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Präzisionstisch

Was ist ein Präzisionstisch?

Präzisionstische sind Tische, die in X- und Y-Richtung oder in Drehrichtung präzise bewegt werden können. Die Achsen, die bewegt werden können, variieren je nach Modell, und es gibt verschiedene Arten von Präzisionstischen, die von einer bis zu vier oder mehr Achsen reichen.

Die Bewegung des Tisches erfolgt über eine Vorschubspindel mit kleiner Steigung. Mit Hilfe eines Mikrometers oder eines Motors mit Untersetzungsgetriebe kann der Tisch in der Größenordnung von Mikrometern bewegt werden, wodurch er sich für die Betrachtung sehr kleiner Proben eignet.

Der Tisch kann zwar präzise bewegt werden, der Bewegungsbereich beträgt jedoch nur wenige Zentimeter, sodass er für Anwendungen, die große Tischbewegungen erfordern, nicht geeignet ist.

Anwendungen von Präzisionstischen

Präzisionstische können unabhängig und präzise in jeder Achsenrichtung, wie der X-, Y- und Z-Achse, sowie in der Drehrichtung der anderen drei Achsen bewegt werden und werden daher verwendet, wenn die Position einer Probe genau kontrolliert werden muss.

Sie können als Tische für Mikroskope zur Beobachtung von Mikroobjekten wie z. B. Halbleiterelementen, als Tische zur Fixierung von Werkstücken für die Präzisionsbearbeitung mit Bearbeitungsmaschinen, als Prüftische zur Ausrichtung der optischen Achsen bei der Inspektion optischer Linsen und als Tische zum Fügen von Teilen bei der Hochpräzisionspositionierung verwendet werden. Präzisionstische können auch als Tische für das Zusammenfügen von Teilen bei der Hochpräzisionspositionierung verwendet werden.

Funktionsweise von Präzisionstischen

Präzisionstische bestehen aus einer hochpräzisen Linearführung, einer Vorschubspindel und einem Mikrometer oder einem Motor mit Untersetzungsgetriebe zum Drehen der Vorschubspindel, und zwar so viele, wie es bewegliche Achsen gibt. Eine einzige Verlängerung der Vorschubspindel bewegt den Tisch um die Steigung der Spindel (einige Zehntel Millimeter).

Bei Verwendung eines Mikrometers kann der Verfahrweg durch Ablesen einer speziellen Skala auf dem Mikrometer bestimmt werden.

Bei Verwendung eines Motors wird ein Drehgeber in den Motor eingebaut, um die Anzahl der Umdrehungen zu erfassen und so den Verstellweg zu steuern.

Je nach Anwendung sind Präzisionstische als einachsige Tische mit nur einer X-Achse, als zweiachsige Tische mit X- und Y-Achse und als 3- bis 6-achsige Tische mit Z-Achse und Rotation erhältlich. Da jedoch der Preis eines Präzisionstisches mit der Anzahl der beweglichen Achsen steigt, empfiehlt es sich, einen Tisch mit den minimal erforderlichen Spezifikationen zu wählen.

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