Was ist ein Vakuum-Absperrschieber?
Ein Absperrschieber ist ein Ventilelement, das zur Trennung mehrerer Vakuumkammern oder zwischen Vakuumkammern und der atmosphärischen Umgebung verwendet wird, hauptsächlich in Vakuumanlagen und Halbleiterfertigungseinrichtungen. Absperrschieber gibt es in einer Vielzahl von Öffnungs/Schließtypen, Öffnungs/Schließkräften und Ventilkegelstrukturen.
Die Auswahl basiert auf Faktoren wie der Druckdifferenz über den Ventilkegel, der Öffnungs- und Schließgeschwindigkeit, dem Grad der Staub- und Schmutzentwicklung beim Öffnen und Schließen, der Hitzebeständigkeit und der chemischen Beständigkeit. Von kleinen Objekten mit einem Durchmesser von einigen zehn Millimetern über Flachbildschirme
Produktionsanlagen bis hin zu großen, mehrere Meter breiten Ventilen, die in Flachbildschirmen verwendet werden.
Anwendungen von Vakuum-Absperrschiebern
Vakuum-Absperrschieber werden zur Trennung mehrerer Vakuumkammern oder zur Abtrennung einer Vakuumkammer von der Atmosphäre verwendet. In diesem Fall wird der Vakuumschieber verwendet, um die internen Materialien in eine andere Vakuumkammer zu transferieren, während in einer Vakuumkammer stets ein Vakuum aufrechterhalten wird.
In diesem Fall wird die Vakuumkammer immer im Vakuum gehalten, während die in der Vakuumkammer zu bearbeitenden Materialien in die andere Vakuumkammer überführt werden und die Vakuumkammer von der Atmosphäre abgeschottet wird. Das Ventil wird auch zur Regulierung der Durchflussmenge des aus der Vakuumkammer abgesaugten Gases verwendet, indem die Öffnungsrate des Ventils eingestellt wird.
In solchen Fällen wird das Saugvermögen durch die Einstellung der Ventilöffnungsrate reguliert. Bei der Verwendung als Stromregelventile werden Absperrklappen mit schnellen Öffnungs- und Schließgeschwindigkeiten eingesetzt.
Funktionsweise von Vakuum-Absperrschiebern
Vakuum-Absperrschieber gibt es in verschiedenen Varianten, die sich durch den Ventilkegel und die Öffnungs-/Schließstruktur unterscheiden.
Der Ventilkegel hat eine luftdichte Vakuumkammer. Der Ventilkegel ist mit einem O-Ring und Dichtungsmaterial ausgestattet, um die Luftdichtheit der Vakuumkammer aufrechtzuerhalten, und einige Produkte verfügen über eine eingebaute Heizung, um die Temperatur der Vakuumkammer aufrechtzuerhalten, die bei hohen Temperaturen geregelt wird.
- Hebeventil
Dies ist der gebräuchlichste Typ und öffnet und schließt sich durch Auf- und Abbewegen des Ventilkegels. Kleinere Produkte können mit einem einzigen Hebevorgang luftdicht verschlossen werden, während bei größeren Produkten oft zwei Hebevorgänge mit anschließendem Herunterdrücken erforderlich sind.
Da beide Seiten des Ventilkegels vakuumdicht sind, verfügt auch das Gehäuse über einen O-Ring oder eine andere dichte Struktur. Ventilkegel gibt es in quadratischer und runder Form. - Türventil
Das Ventil, das die atmosphärische Seite von der Vakuumkammer trennt, wird als Türventil bezeichnet. Es ähnelt einem Hubschieberventil, hat aber kein Gehäuse, da eine Seite unter Atmosphärendruck steht und der Ventilkegel gegen die Vakuumkammer gepresst wird, um sie luftdicht zu machen. - Pendelschieber
Dieser Ventiltyp hat einen runden Ventilkegel, der sich durch eine pendelartige Bewegung öffnet und schließt. Er zeichnet sich durch seine Kompaktheit aus und hat den Vorteil einer geringen Staubemission, da keine gleitenden Teile vorhanden sind.