Qu’est-ce qu’un équipement de dépôt ?
Comme son nom l’indique, un équipement de dépôt est un équipement utilisé pour créer des films.
Différents types d’équipements de dépôt ont été développés, en fonction de l’épaisseur et de la pureté de la couche mince, et selon qu’elle est organique ou inorganique.
En revanche, les méthodes rouleau à rouleau ou par lots sont choisies pour les produits tels que les films, qui nécessitent une production de masse sur une grande surface. De plus, des équipements tels que les systèmes de spin-coat et de jet d’encre sont utilisés pour le dépôt de films en séchant la solution après son application.
Il est important de sélectionner le type d’équipement de dépôt approprié en fonction de la situation. Ce choix permettra de développer des produits plus efficaces et de meilleure qualité.
Utilisations des équipements de dépôt
Les équipements de dépôt d’oxydes métalliques de haute pureté conviennent au dépôt d’oxydes métalliques de haute pureté, minces et uniformes, tels que les composants de semi-conducteurs, et les équipements de dépôt sous vide poussé sont utilisés. Des équipements similaires peuvent également être utilisés pour déposer de minces films métalliques réfléchissants sur des surfaces telles que les phares de voiture et les lentilles d’appareil photo, qui suppriment la réflexion de la lumière.
D’autre part, les équipements de dépôt rouleau à rouleau et par lots conviennent aux produits qui nécessitent une production de masse, tels que les films plastiques et les feuilles métalliques minces. Ces produits ont une épaisseur de l’ordre du micromètre.
Les films minces de semi-conducteurs organiques, connus sous le nom d’électronique imprimée, tels que les matériaux EL organiques, sont également produits à l’aide d’équipements de dépôt de type jet d’encre.
Principe des équipements de dépôt
Il existe deux types d’équipements de dépôt : les équipements de dépôt sous vide poussé et les équipements de dépôt pour la production de masse, tels que les méthodes rouleau à rouleau.
1. Équipement de dépôt sous vide poussé
Il existe deux types d’équipements de dépôt sous vide poussé : le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Dans la méthode de dépôt, le matériau du film est chauffé pour se volatiliser et adhérer à un substrat monté sur le dessus de l’équipement pour faire croître le film.
Dans la méthode de pulvérisation, des particules accélérées par une tension sont projetées sur le matériau du film. Les particules volantes adhèrent au substrat fixé au sommet de l’équipement pour faire croître le film. Dans les deux méthodes, un vide poussé empêche l’oxygène et les autres substances contenues dans l’atmosphère de pénétrer dans le film, ce qui permet d’obtenir un film d’une grande pureté.
2. Équipement de dépôt de film pour la production de masse
La méthode rouleau à rouleau est une méthode dans laquelle un film est appliqué sur un substrat laminé pendant qu’il est en rotation. Elle convient à la production de masse et à la fabrication de films de grande surface.
Pour produire un film uniforme, la viscosité de la solution de l’échantillon doit être maintenue dans une certaine plage. Comme cette viscosité dépend du nombre de tours et des propriétés physiques de l’échantillon, il est important de prendre en compte la viscosité de l’échantillon lors de l’étude des conditions de dépôt.
Autres informations sur les équipements de dépôt
Machines utilisées en combinaison avec les équipements de dépôt
Quatre types de machines sont utilisés avec les équipements de dépôt : les pompes à vide, les réchauffeurs de substrats, les équipements de gravure et les équipements d’inspection.
1. Pompes à vide
L’équipement de dépôt nécessite des conditions de vide élevé afin de produire un film de grande pureté. Les pompes à vide sont chargées de créer des conditions de vide élevé en éliminant l’air de l’équipement de dépôt. Cela empêche les impuretés de pénétrer dans le film et garantit la production de films de haute qualité.
2. Réchauffeurs de substrats
Les réchauffeurs de substrats sont des machines qui régulent la température du substrat utilisé dans le processus de dépôt. En chauffant le substrat à une température adaptée au dépôt, l’adhérence et l’uniformité du film sont améliorées, ce qui donne des films de meilleure qualité.
3. Équipement de gravure
Après le dépôt du film, le substrat doit être gravé pour former une forme ou un motif prédéterminé. L’équipement de gravure a pour fonction d’enlever sélectivement une partie du film à l’aide de produits chimiques et de plasma. Il en résulte la formation de motifs de circuits fins, etc.
4. Équipement d’inspection
Une fois le dépôt du film terminé, l’inspection de la qualité est importante. Les équipements d’inspection vérifient la qualité du film, telle que l’épaisseur, l’uniformité et l’adhérence. Ils détectent rapidement les produits défectueux, ce qui améliore le processus de fabrication et l’efficacité globale de la production.