Was ist ein Vakuum-Flansche?
Ein Vakuum-Flansch ist ein Bauteil, das zur Abdeckung von Geräten verwendet wird, um das Austreten von Gas zu verhindern, wenn im Inneren des Geräts eine Vakuumumgebung erforderlich ist.
Es gibt verschiedene Normen, wie NW, KF, ICF und JIS, die je nach Anwendung verwendet werden.
Die NW- und KF-Normen werden für Rohrleitungen und Verbindungselemente verwendet, die in Bereichen mit niedrigem bis hohem Vakuum eingesetzt werden.
Zur Befestigung des Flansches wird eine Vorrichtung, die sogenannte Kupplung, eingesetzt.
Bei den Normen ICF und JIS hingegen werden die Flansche mit Schrauben befestigt, wodurch weniger Gase austreten und ein höheres Vakuum aufrechterhalten werden kann.
Verwendungszwecke von Vakuum-Flanschen
Vakuum-Flansche werden zum Abdichten von Rohren und Armaturen verwendet, um eine Vakuumumgebung in bestimmten Anlagen aufrechtzuerhalten.
Sie kommen in einer Vielzahl von Anwendungen zum Einsatz und werden häufig in Situationen verwendet, in denen Vakuumgeräte zum Einsatz kommen, von der akademischen Forschung bis zur Fertigung.
Vakuum-Flansche sind unverzichtbar für die Halbleiter-, Flüssigkristall- und organische EL-Produktion, wo eine Hochvakuumumgebung erforderlich ist.
In der akademischen Forschung werden Vakuum-Flansche auch für verschiedene Experimente benötigt, bei denen ein Vakuum verwendet wird (z. B. Experimente mit verdünnten Gasen oder festen Oberflächen oder Experimente in Niedrigtemperaturumgebungen).
Das Prinzip der Vakuum-Flansche
JIS-Flansche werden hauptsächlich aus rostfreiem Stahl hergestellt und verwenden einen elastischen O-Ring als Dichtungsmaterial.
O-Ringe können mehrfach verwendet werden, was Kosten spart, und sie können bis zum Hochvakuum eingesetzt werden.
Es ist wichtig zu beachten, dass Kratzer an den Flanschkanten zu Gasaustritt führen können; stellen Sie daher sicher, dass sie frei von Kratzern und Ablagerungen sind.
Ziehen Sie die Schrauben nach dem Übereinanderlegen der Flansche schrittweise und diagonal an.
Dadurch wird ein gleichmäßiges und allmähliches Anziehen der Flansche gewährleistet. Nach dem Anziehen wird das Vakuum abgesaugt, um sicherzustellen, dass sich die Flansche nicht lockern.
Im Gegensatz zu den JIS-Flanschen werden die ICF-Flansche durch Einlegen einer Kupferdichtung als Dichtungsmaterial befestigt.
Der Rand des Flansches drückt sich in die Dichtung und hält das Vakuum.
Dies hat bessere Dichtungseigenschaften als ein O-Ring und wird verwendet, wenn ein Ultrahochvakuum erzeugt werden soll.
Das Verschraubungsverfahren ist das gleiche wie bei JIS-Flanschen, jedoch muss auf jede Schraube ein gleichmäßiges Drehmoment mit einem Drehmomentschlüssel oder ähnlichem aufgebracht werden.
NW/KF-Flansche haben einen Ring (Mittelring) mit einem dazwischen liegenden O-Ring. Im Gegensatz zu den JIS/ICF-Flanschen werden die Flansche mit einer Vorrichtung, der sogenannten Kupplung, befestigt.
Sie sind einfach und ohne Werkzeug zu montieren und können wiederholt verwendet werden.