Was ist ein Messmikroskope?
Messmikroskope sind dimensionale Messmaschinen, die Abmessungen anhand von Bildern messen, die durch ein Mikroskop vergrößert wurden.
Es besteht aus einem optischen Mikroskop mit exakter Vergrößerung und einem XY-Tisch zum präzisen Bewegen des Werkstücks auf einer ebenen Fläche, einschließlich einer Schablone für Vergleichsmessungen. Messmikroskope ermöglichen die berührungslose Messung und damit die Beobachtung von Konturen und Oberflächen ohne Beschädigung des Werkstücks.
Messmikroskope verwenden im Allgemeinen telezentrische Optiken im optischen System. In den letzten Jahren haben einige Spezifikationen ein unendlich korrigiertes optisches System im optischen Kopf eingeführt, um die Beobachtung mit differentiellem Interferenzlicht und die einfache Beobachtung mit polarisiertem Licht zu ermöglichen.
Verwendungszwecke von Messmikroskopen
Messmikroskope werden für die Produktion und Qualitätskontrolle von relativ kleinen Maschinenteilen, Teilen elektronischer Geräte und Halbleiterprodukten verwendet. Messmikroskope eignen sich für die Messung kleiner Teile und kleiner Flächen, die ohne Mikroskopvergrößerung schwer zu messen sind.
Neben der Dimensionsmessung kann das Mikroskop auch für die Beobachtung mit polarisiertem Licht und differentieller Interferenz verwendet werden, um z. B. Fehler in Halbleitersubstraten zu erkennen. Aufgrund der Genauigkeit der Vergrößerung ist es auch für einfache Kontrollen nützlich, um durch Vergleichsmessungen anhand einer Schablone festzustellen, ob ein Produkt innerhalb der Toleranz liegt.
Messmikroskope können sowohl als Messmaschinen als auch als Mikroskope verwendet werden, und man kann sie für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzen.
Prinzip der Messmikroskope
Messmikroskope lassen sich nach der Beleuchtungsmethode einteilen.
1. Durchlichtbeleuchtung
Die Durchlichtbeleuchtung wird für Dimensionsmessungen verwendet, indem Licht durchgelassen und der Schatten eines Objekts als Konturform erfasst wird. Sie wird zur Messung von Konturen verwendet.
2. Vertikale Auflichtbeleuchtung
Bei der vertikalen Auflichtbeleuchtung wird das Licht senkrecht auf die Oberfläche eines Objekts gestrahlt und das reflektierte Licht zur Beobachtung der Oberfläche verwendet. Die vertikale Auflichtbeleuchtung kann nicht nur für dimensionale Messungen, sondern auch für die Beobachtung der Oberflächengeometrie verwendet werden.
3. Schräge Auflichtbeleuchtung
Die schräge Auflichtbeleuchtung ist eine Beleuchtungsmethode, bei der das Licht in einem Winkel auf die Oberfläche des Messobjekts gerichtet wird. Die Besonderheit besteht darin, dass der Kontrast des Bildes hervorgehoben wird, so dass ein dreidimensionales und scharfes Bild erzielt werden kann. Allerdings sind Fehler bei Dimensionsmessungen wahrscheinlicher.
Weitere Informationen über Messmikroskope
1. Telezentrische Optik
Die meisten Messmikroskope verwenden telezentrische Optiken zur Durchleuchtung. Mikroskope ohne telezentrische Optik lassen nahe Objekte größer und weiter entfernte Objekte kleiner erscheinen.
Dieses Phänomen tritt auch bei den Kameras auf, die wir im Alltag verwenden. Diese Eigenschaft führt jedoch dazu, dass bei Dimensionsmessungen entfernte Objekte im Verhältnis zu verschiedenen Teilen in Höhenrichtung kleiner gemessen werden.
Bei Objektiven mit telezentrischer Optik wird das Bild unscharf, aber die Größe bleibt gleich, auch wenn der Fokus in Richtung der Entfernung zum Objektiv und der optischen Achse verschoben wird. Telezentrische Optiken sind unentbehrlich für dimensionale Messmikroskope, bei denen die Abmessungen beim Beobachten mit dem Mikroskop gemessen werden.
2. Parallelisierung des Messmikroskops
Messmikroskope messen, indem sie das Messobjekt auf einen XY-Tisch stellen. Daher kann der Messpunkt überall innerhalb des Arbeitsbereichs des XY-Tisches liegen. Das bedeutet, dass der XY-Tisch zum Messpunkt bewegt werden kann, wo immer sich das Messobjekt auf dem XY-Tisch befindet.
Einige Winkel und Kreisdurchmesser, die gemessen werden sollen, erfordern eine große Bewegung des XY-Tisches, aber die Kontur des Messobjekts wird nie ohne besondere Einstellung parallel zur Bewegung des XY-Tisches platziert. Es ist daher notwendig, die Bewegung des XY-Tisches vor der Messung parallel zur Bezugskante des Messobjekts zu führen.
Wenn das Messobjekt und der XY-Tisch nicht parallelisiert sind, können bei der Messung von Winkeln und Parallelität große Fehler auftreten. Es sind daher Berechnungen erforderlich, um die Messergebnisse zu kompensieren. In den letzten Jahren haben die Hersteller eine Reihe von Messgeräten entwickelt, die auf dem XY-Tisch ein Koordinatensystem erstellen und aus den Koordinaten des Ursprungs und der Messpunkte berechnen. Durch den Einsatz dieser Geräte kann der Arbeitsaufwand für die Parallelisierung reduziert werden.
3. Sichtfeld des Messmikroskops
Es ist wichtig, dass das Mikroskop das Objekt unter starker Vergrößerung beobachten kann, aber es ist auch wichtig, dass ein großes Sichtfeld auf einmal erreicht werden kann. Das Sichtfeld ist der Bereich, der mit dem Mikroskop auf einmal gesehen werden kann, und wird durch den Durchmesser des Okulars bestimmt.
Die Größe des Sichtfeldes wird als Anzahl der Sichtfelder bezeichnet, und das tatsächliche Sichtfeld ist der Bereich der Oberfläche des zu messenden Objekts, der innerhalb des Sichtfeldes sichtbar ist. Die Beziehung zwischen dem tatsächlichen Sichtfeld und der Objektivvergrößerung ist wie folgt
Tatsächliches Sehfeld = Anzahl der Sehfelder des Okulars / Vergrößerung der Objektivlinse
Aus der obigen Formel geht hervor, dass bei gleicher Anzahl von Sehfeldern des Okulars der Bereich des tatsächlichen Sehfelds mit zunehmender Vergrößerung des Objektivs kleiner wird. Dies zeigt, dass es einen Kompromiss gibt zwischen der Erhöhung der Vergrößerung des Objektivs zur Vergrößerung des Messobjekts und dem Bereich, der auf einmal gesehen werden kann.
Um das tatsächliche Sichtfeld zu vergrößern, muss der Durchmesser des Okulars vergrößert oder die Vergrößerung der Objektivlinse verringert werden. Der Verkleinerung der Objektivvergrößerung sind jedoch aufgrund der für die Messung erforderlichen Vergrößerung Grenzen gesetzt. Aus diesem Grund sind Messmikroskope mit einem XY-Tisch und einem Zähler oder einem ähnlichen Gerät ausgestattet, das den Betrag der Bewegung anzeigt und den Teil des Objekts misst, der im Sichtfeld nicht zu sehen ist.