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超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS-HEMTO-TDS
超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS-株式会社ユニソク

超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS
株式会社ユニソク

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この製品について

微小な基板や薄膜中に含まれる水素の検出を、熱脱離法により行う装置です。水素固溶が少ないBeCuチャンバーを使用するとともに、赤外レーザーを使用し試料基板のみを効率的に加熱することにより、加熱中の水素のバックグランドの増加を抑え、試料からの脱離水素を高感度で測定できる装置です。また、検出には四重極質量分析器を使用しているため、水素以外の脱離物質についても分析が可能です。

■アプリケーション

・半導体基板中の低濃度水素の検出 ・薄膜中に混入した水素の検出 ・微小試料中の不純物元素の熱脱離検出 ・吸収・吸着の結合状態の判定

■装置原理

・赤外加熱で局所加熱 ・放射温度計で温度計測・制御 ・BeCuチャンバーで低水素バックグランド ・オリフィス設置で高感度化

  • シリーズ

    超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS

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超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) イオン電流 加熱方式 温度制御 試料サイズ 質量分析範囲
超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS-品番-HEMTO-TDS

HEMTO-TDS

要見積もり 1×10-13Aまで検出可能
1×1015ion.cm2の水素イオン注入基板まで検出可能
5×1016個/cm3, 1/100万程度の濃度の水素原子を検出
赤外レーザー加熱 (983nm) 放射温度計によるPID制御
(放射率は熱電対付き温度校正用基板で校正)
温度範囲 150℃-1000℃
昇温速度 10℃/min-100℃/minで任意設定
10mm×10mm 1-100 amu

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

商号:株式会社ユニソク 代表者:代表取締役 宮武 優 設立:昭和49年11月21日 資本金:5,000万円 従業員:47名 決算期:年1回 6月 取引銀行:三菱UFJ銀行 枚方支店、京都銀行 津田支店 事業内容:走査型プ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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