プローバー用導電性ナノプローブ
株式会社ユニソク

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この製品について

マイクロおよびナノスケールでのサンプル表面への多探針プロービングは、半導体デバイスの故障解析のための表面電気特性測定等、半導体デバイスの研究開発および生産の分野で活用されています。近年デバイス構造の微細化に伴い、検査用プローブの先鋭化・表面酸化膜の抑制などプローブに要求される仕様も高まっています。

またこのようなプローブはナノバイオなど多様な分野でニーズが高まってきております。当社はそれらのニーズに応えるため、各種用途に対応できる接触検査用ナノプローブを開発いたしました。

■傾斜角が小さく多探針用に有利な先端形状隣接するプローブが鋭角で接近した場合にプローブ同士が接触しないことに考慮した傾斜角が小さいプローブ形状を有しています。

■サンプルとのソフトな接触が可能白金イリジウムプローブでは、酸化膜が表面に介在しないため接触の際に速やかに導電性を得ることが可能です。これによりサンプルとプローブの損傷を最小に抑えることが出来ます。 (タングステンプローブ P-100Wを除く) 

■プローバー用導電性ナノプローブの種類・白金イリジウムプローブ 型番: P-100PtIr (P) 
・タングステンプローブ 型番: P-100WP