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ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000-UMP1000
ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000-株式会社ユニソク

ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000
株式会社ユニソク

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この製品について

SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロマニピュレーション・プロービングに最適。UMP1000はナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。 2本のプローブを用いた微小範囲での通電・切断などの微細加工、4本のプローブを用いた4端子法抵抗測定など用途に応じてSEMなどに組み込めます。

■特長

・簡単操作、粗動 (数百nm動作精度) と微動 (0.5nm以下精度) の切り替え式で素早い位置合わせが可能 ・低価格を実現 ・市販のSEM/FIB/光学顕微鏡に組み合わせ可能 ・大気中~超高真空、常温~極低温までの広範囲な動作環境 ・マルチプロービングにも対応 ・マニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定など幅広い用途に対応

■用途

・SEM/FIB/光学顕微鏡などの観測下でのナノメートルオーダーの探針位置微調整 (プロービング) ・大気中~超高真空中、かつ常温~極低温環境下でのプロービング ・ナノメートルオーダーでの微小なマニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定などの表面電気特性測定

■構成

・本体部 1台 ・コントローラ 1台 ・付属品 1式 ・Windows®ノートPC (オプション・別売り) 1台

  • シリーズ

    ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000

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ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大移動量 パルス (粗動) モード 最大移動量 DC (微動) モード 最小移動量 (分解能) パルス (粗動) モード 最小移動量 (分解能) DC (微動) モード 動作環境 温度 動作環境 圧力 接続ケーブル (出力) 本体寸法 (突出部含む) 本体重量 コントローラ 入力電圧 コントローラ 消費電力 コントローラ 使用温度範囲 コントローラ 使用湿度範囲 コントローラ 入力出力 コントローラ 寸法 コントローラ 重量 付属品
ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000-品番-UMP1000

UMP1000

要見積もり

XY軸: 5 mm、Z軸: 3 mm

XYZ軸: 1 μm

200 nm以下 (XYZ軸)

0.5 nm以下 (XYZ軸)

4 K ~ 310 K、ベーキング温度 373 K以下

大気圧付近 及び 10-2Pa~10^-8Pa (ピエゾ素子の放電のため使用できない真空領域があります)

標準コントロール端子 (Dsub-15) 2 m 1式 ※超高真空・極低温対応 (注文製作) 2 m 1式

本体部分 約25 (H) × 約50 (D) × 約20 (W) mm (探針部除く)

60 g以下 本体部分 (取付ベース部除く)

100 VAC (50/60 Hz)

100 VA以下

5°C ~ 40°C

15% ~ 80%

コントロール端子 (Dsub-15)

480 (W) × 100 (H) × 460 (D) mm

8 kg以下

標準制御ソフト用CD-ROM 1枚、専用接続ケーブル (USB) Windows PC/コントローラ間 3m1本、専用接続ケーブル コントローラ 5m1本 (コネクター別) 、ACケーブル 1.5m1本

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

商号:株式会社ユニソク 代表者:代表取締役 宮武 優 設立:昭和49年11月21日 資本金:5,000万円 従業員:47名 決算期:年1回 6月 取引銀行:三菱UFJ銀行 枚方支店、京都銀行 津田支店 事業内容:走査型プ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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