ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000
株式会社ユニソク
この製品について
■特長
・簡単操作、粗動 (数百nm動作精度) と微動 (0.5nm以下精度) の切り替え式で素早い位置合わせが可能 ・低価格を実現 ・市販のSEM/FIB/光学顕微鏡に組み合わせ可能 ・大気中～超高真空、常温～極低温までの広範囲な動作環境 ・マルチプロービングにも対応 ・マニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定など幅広い用途に対応■用途
・SEM/FIB/光学顕微鏡などの観測下でのナノメートルオーダーの探針位置微調整 (プロービング) ・大気中～超高真空中、かつ常温～極低温環境下でのプロービング ・ナノメートルオーダーでの微小なマニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定などの表面電気特性測定■構成
・本体部 1台 ・コントローラ 1台 ・付属品 1式 ・Windows®ノートPC (オプション・別売り) 1台-
シリーズ
ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000
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取扱企業
株式会社ユニソク
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カテゴリ
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ナノプローブ・ナノ計測加工機 XYZ3軸ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大移動量 パルス (粗動) モード | 最大移動量 DC (微動) モード | 最小移動量 (分解能) パルス (粗動) モード | 最小移動量 (分解能) DC (微動) モード | 動作環境 温度 | 動作環境 圧力 | 接続ケーブル (出力) | 本体寸法 (突出部含む) | 本体重量 | コントローラ 入力電圧 | コントローラ 消費電力 | コントローラ 使用温度範囲 | コントローラ 使用湿度範囲 | コントローラ 入力出力 | コントローラ 寸法 | コントローラ 重量 | 付属品 |
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UMP1000 |
要見積もり | XY軸: 5 mm、Z軸: 3 mm | XYZ軸: 1 μm | 200 nm以下 (XYZ軸) | 0.5 nm以下 (XYZ軸) | 4 K ~ 310 K、ベーキング温度 373 K以下 | 大気圧付近 及び 10-2Pa~10^-8Pa (ピエゾ素子の放電のため使用できない真空領域があります) | 標準コントロール端子 (Dsub-15) 2 m 1式 ※超高真空・極低温対応 (注文製作) 2 m 1式 | 本体部分 約25 (H) × 約50 (D) × 約20 (W) mm (探針部除く) | 60 g以下 本体部分 (取付ベース部除く) | 100 VAC (50/60 Hz) | 100 VA以下 | 5°C ~ 40°C | 15% ~ 80% | コントロール端子 (Dsub-15) | 480 (W) × 100 (H) × 460 (D) mm | 8 kg以下 | 標準制御ソフト用CD-ROM 1枚、専用接続ケーブル (USB) Windows PC/コントローラ間 3m1本、専用接続ケーブル コントローラ 5m1本 (コネクター別) 、ACケーブル 1.5m1本 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
