SPMユニット製品 超高真空エバポレーター UEシリーズ UE-103C/104C
株式会社ユニソク
この製品について
■特長
・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源 ・多元高温用エバポレーター (温度範囲700℃～1,700℃) UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150℃～800℃) UE-203C/204Cシリーズの2機種をラインナップ ・シャッター追加、膜厚測定機能 (オプション)■用途
超高真空中でターゲット試料表面へ微量な金属または有機物の蒸着■UEシリーズ共通
・加熱方式：フィラメント通電加熱方式 ・ルツボ容積：内径2.6×深さ6mm (充填量はルツボ容積の1/2以下を推奨) ・ルツボ数：シャッター機能なし 4個、シャッター機能あり 3個 ・取付けフランジ：ICF70 ・ターゲットまでの距離：ルツボヘッド先端から100mm以上 (標準蒸着源サイズでは取付けフランジから200mm以上推奨) ・取付け方向：水平面から30°以上上向きに取付けが必要 ・シャッター：回転導入機による手動開閉 ・膜厚計：シャッター板のルツボ側面に設置■多元高温用エバポレーター
・加熱温度：700～1,700℃ (連続運転時の推奨温度は1,600℃まで) ・冷却機構：水冷ジャケット装備 (1,000℃以上での御使用時には水冷必須) ・ルツボ材質：アルミナ ・熱電対：W-Re使用■多元エバポレーター
・加熱温度：150～800℃ ・冷却機構：水冷ジャケット装備 (500℃以上での御使用時には水冷必須) ・ルツボ材質：タンタル ・熱電対：Kタイプ-
シリーズ
SPMユニット製品 超高真空エバポレーター UEシリーズ UE-103C/104C
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取扱企業
株式会社ユニソク
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カテゴリ
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SPMユニット製品 超高真空エバポレーター UEシリーズ UE-103C/104C 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 蒸着源 | 加熱方式 | ルツボ容積 | 元素 (ルツボ) 数 | 取付フランジ | コネクタ | 冷却機構 | フランジ/ルツボ先端距離 | ターゲット距離 | 真空チャンバ取付方向 | 加熱温度範囲 | 加熱電流 | ベーキング温度 | 材料形態 | 材料充填量 | 使用可能な蒸着材料 | シャッター機能 開閉機構 | シャッター機能 シャッター板 | 膜厚計機能 膜厚計素子取付位置 | 膜厚計機能 膜厚計素子 | 膜厚計機能 膜厚モニター |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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UE-103C |
要見積もり | ルツボ型蒸着源 | フィラメント通電加熱方式 | 3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ) | シャッター機能なし: 4個、シャッター機能あり: 3個 | ICF70 | 10P電琉導入端子 | 水冷式ジャケット標準装備 (水量：1L/min) ※特に1,000℃以上でのご使用時では水冷は必須です。 | 取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能) | ルツボヘッド先端部から100mm以上 | 水平面から>30°上向きに取付が必要 |
700~1,700℃ (連続使用時の推奨温度700~1600℃) ※弊社製温度コントローラにて制御される場合、最高 1,600℃ (電琉：7A) ※温度計なしの仕様の場合、温度測定はできません |
最大7.5A~14V | <200°C | 粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの | ルツボの1/2以下を推奨 (但し取付角度に依存) | 1,700℃以下で真空蒸着可能な元素、但し700℃以下で蒸発する元素は制御が困難 | 回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付) ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 | サイズ：34mm dia. 回転半径：30mm ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 | シャッター板面 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 | 水晶振動子 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 | Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
