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シリーズ
SPMユニット製品 超高真空エバポレーター UEシリーズ UE-103C/104C取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 蒸着源 | 加熱方式 | ルツボ容積 | 元素 (ルツボ) 数 | 取付フランジ | コネクタ | 冷却機構 | フランジ/ルツボ先端距離 | ターゲット距離 | 真空チャンバ取付方向 | 加熱温度範囲 | 加熱電流 | ベーキング温度 | 材料形態 | 材料充填量 | 使用可能な蒸着材料 | シャッター機能 開閉機構 | シャッター機能 シャッター板 | 膜厚計機能 膜厚計素子取付位置 | 膜厚計機能 膜厚計素子 | 膜厚計機能 膜厚モニター |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
UE-103C |
要見積もり |
ルツボ型蒸着源 |
フィラメント通電加熱方式 |
3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ) |
シャッター機能なし: 4個、シャッター機能あり: 3個 |
ICF70 |
10P電琉導入端子 |
水冷式ジャケット標準装備 (水量：1L/min) ※特に1,000℃以上でのご使用時では水冷は必須です。 |
取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能) |
ルツボヘッド先端部から100mm以上 |
水平面から>30°上向きに取付が必要 |
700~1,700℃ (連続使用時の推奨温度700~1600℃) |
最大7.5A~14V |
<200°C |
粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの |
ルツボの1/2以下を推奨 (但し取付角度に依存) |
1,700℃以下で真空蒸着可能な元素、但し700℃以下で蒸発する元素は制御が困難 |
回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付) ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 |
サイズ：34mm dia. 回転半径：30mm ※L103CS/103CSシリーズに標準装備 |
シャッター板面 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 |
水晶振動子 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 |
Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備 ※L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 |
