マクロ欠陥検査装置 ED-Scope
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
フォトニックインストゥルメンツ株式会社の対応状況
返答率
100.0%
この製品について
■検査対象
透過サンプル：光を透過するサンプル (ガラス、水晶、サファイア、樹脂フィルム等) のキズ・膜ムラ・研磨痕などの表面欠陥や脈理や成長縞のような内部欠陥。反射サンプル：光を透過しないサンプル (シリコンウエハなど) のウオータマーク・ディンプ ル・薄膜のムラ・液ダレ・ソーマーク・クラック・スクラッチなどの表面欠陥。■表面欠陥 (ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板の表面欠陥)
・オレンジピール (研磨面に生じた、丸みを帯びた無数の凹凸 ・研磨痕 ・面ダレ (研磨時に素板端面部が意図されずに多く削られた状態。) ・接着痕■内部欠陥 (ガラス、水晶、サファイア等の光学ガラスの素板)
・脈理 (欠陥の一種。周りの正常な屈折率と違う屈折率が局所的に生じる。) ・成長縞 (結晶成長に見られる縞) ・双晶 (双晶境界は面欠陥。)■シリコンウエハの表面欠陥
・ウォーターマーク ・研磨痕 ・薄膜ムラ ・パターン欠陥■原理
V-Scopeの観察原理は特殊な照明方法です。点光源から照射された光束を2枚の鏡を用いて理想的な平行光束を作り出し、観察サンプルを透過させます。透過した光束は最下部のミラーから反射されて再び観察サンプルを透過しカメラに結像されます。このとき、サンプルにキズや脈理などにより屈折率の差が発生していると、それが影となり画像表示されます。反射サンプルの場合は、サンプル自身が鏡の役割になり、カメラに結像します。-
シリーズ
マクロ欠陥検査装置 ED-Scope
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取扱企業
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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カテゴリ
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マクロ欠陥検査装置 ED-Scope 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 本体部ユニット構成 | PC部ユニット構成 | 観察仕様 | 解像度 | フレームレート | 電源 | 光学系視野範囲 | 光源 (LED 3W) | ED特殊画像処理 | ED処理自動制御機構 | 供給電源 | 寸法 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ED-Scope |
要見積もり | 高解像度マクロレンズ、デジタルCMOSカメラ、特殊照明部、微動チルト試料台 | PC (windows10) 、液晶モニタTFTワイド28インチ | 反射光 (表面欠陥) /透過光観察 (内部欠陥) | 500万画素CMOSカメラ (2/3インチ、2,448 x 2,048画素) | 35フレーム/秒 (MAX) ：静止画 (BMP/JPG) 、動画 (MPG) | DC+5V (500mA) ：ACアダプタ |
最小約136mm (水平) ×115mm (垂直) 最大約34mm (水平) ×28mm (垂直) |
3W、平均寿命約25,000h (使用方法環境に依存) 、光量絞り 0~8段階 | 複数の画像DATAを使った特殊な画像処理ソフトウエア | フォーカス機構をPCよりモータ自動制御・設定 |
AC100V (PC・モニター) ・ACアダプター (光源：DC5V) ・CMOSカメラ：DC5V:USB3.0 AC100 (モーター) ・DC24V (モータードライバー) |
300 (W) x 470 (D) x 990 (H) mm | 約30Kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
