スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-EMICON SA-HIPIMS

スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレードモデルです。成膜中に、プラズマのスペクトルデータと同時に、パルス電圧値及び電流値を高分解能で記録します。

このユニークな融合制御技術は、イオン密度にフォーカスを置いた電源とのクローズループ、ガス流量にフォーカスを置いたMFCとのクローズループ、この2系統のクローズドループを同時に独立制御します。この技術は、特に酸素を用いた反応性成膜プロセスにおいて、化学量論的そして形態学的に安定した成膜を実現します。

■アプリケーション・HIPIMSプロセスでのプラズマ組成解析 (註) 
・ターゲットライフを通じたプロセス監視及び最適化
・クローズドループでのガスフローや、イオン密度の独立制御
・ターゲットエロ―ジョン (浸食) の観察及びそれに起因するプロセス補正
・チャンバー内のリーク等異常検知
・ターゲットの使用限界点検知 (BT、BP面露出) 
註：従来型のフィルター式PEMモニターの様に、予め目標設定した一つのスペクトル (波長) を狙うのではなく、センサーの感知レンジに出現するすべてのスペクトルを監視します。その為、ガスの正確な組成解析が可能となります。

■特徴・センサーの感知レンジに出現するすべてのスペクトルを監視
・高分解能でのエレクトリックシグナルの記録
・パルスプロセス (HIPIMS) での、電流と電圧のリアルタイムレコーディング
・パルスカーブの監視及び解析
・アナログ及びオプティカルトリガーインプットによるパルスとスペクトルの同時記録
・リアルタイムでのスペクトル及びエレクトリカルの融合制御
・ウインドウズOSでの専用ソフトでのLAN制御

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

業務効率化システム・ソフトウェア

稼働監視

コントローラ・制御装置

監視・制御システム

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スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	アナログパルスインプット	サンプリングレート	パルストリガーインプット	スペクトルメーターチャネル数	アナログコントロールアウトプット	コネクション	サポートフィールドバス	タイプ
	EMICON SA-HIPIMS	要見積もり	±1V (2x)	40MHz	アナログ±5V (1x) 、オプティカル (2x)	1-8	0-10ボルト (4/8)	LAN (TCP/IP)	Profibus、Profinet、EtherCAT、EtherNET/IP、OPC	UA