水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW-GSW100/500 (06Z010)

水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です。室温調整が不十分な室内でも、その高効率な水冷システムは、高い信頼性を保証いたします。

この電源は、フロントパネル、あるいはコントロールインターフェースを介したリモート、いずれからも制御可能です。究極に高速なアーク制御システムは、完全自動で動作し、あらゆるプロセスにおいて最適に順応します。

■特徴・出力：10kW-30kW (全22モデル) 
・並列接続：総出力240kWまで接続可能
・冷却方式：水冷
・バルブ制御：マグネティックバルブ (オプション) 
・寸法：幅445mm (19インチ) ｘ高さ132.5mm (3HU) ｘ奥行788mm
・出力：フローティング出力
・アーク制御：完全自動

■GSW、空冷板付きオプション粉塵分離機能を備えた空冷板は、工場現場の過酷な環境での使用を想定して設計しました。専用空冷板は、オプションパーツとしてお求め頂けます。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

電源

DC電源

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水冷式スパッタDC電源 GSWシリーズ 10kW-30kW 品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	出力 10kW 500V 40A 10kW 800V 20A 10kW 1000V 18A 15kW 400V 80 A 15kW 500V 60A 15kW 600V 50A 15kW 750V 38A 15kW 800V 30A 15kW 1000V 25A 20kW 500V 70A
GSW100/500 (06Z010)	要見積もり	10kW 500V 40A
GSW100/800 (06Z040)	要見積もり	10kW 800V 20A
GSW100/1000 (06Z041)	要見積もり	10kW 1000V 18A
GSW150/400 (06Z055)	要見積もり	15kW 400V 80 A
GSW150/500 (06Z060)	要見積もり	15kW 500V 60A
GSW150/600 (06Z070)	要見積もり	15kW 600V 50A
GSW150/750 (06Z080)	要見積もり	15kW 750V 38A
GSW150/800 (06Z090)	要見積もり	15kW 800V 30A
GSW150/1000 (06Z100)	要見積もり	15kW 1000V 25A
GSW200/500 (06Z120)	要見積もり	20kW 500V 70A