コンポーネント電源 DC電源 DC-Dシリーズ三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明DC-10-Dは10kW、DC-20-Dは20kWの出力を持っています。これは、スパッタリングプロセスに必要な電力を確保するためのものであり、異なるプロセス条件に適応できる柔軟性を提供します。信頼性のある部品と回路で構成”とされており、製品全体が高い信頼性を持つように設計されています。

これは、産業用途において安定性が求められる要素であり、プロセスの一貫性を保つために重要です。長年にわたる電源のアプリケーションに関するノウハウが設計に反映されているとのこと。これは、製品の開発者が実際の使用状況や市場のニーズに対応するために蓄積した知識が製品に組み込まれていることを示唆しています。

■用途FPD用スパッタリング装置は、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなど、平面ディスプレイ製造に使用されます。半導体用スパッタリング装置は、半導体デバイスの製造プロセスにおいて金属薄膜を堆積するために使用されます。電子部品用スパッタリング装置は、抵抗体やコンデンサなどの電子部品の製造に使用されます。

産業コーティング用スパッタリング装置は、産業製品や機械部品などの表面にコーティングを施すために使用されます。

■特徴・軽量化‧省スペース化
・プラズマを精通した出力制御
・出力電圧は800V仕様と1,000V仕様
・強制空冷方式の為、冷却水不要
・ARC機能と高速ARC遮断回路を搭載
・MAX12台 (240kW) まで並列運転が可能

■オプション機能1. High Performance RAMP 放電前の出力 (イグニッション動作) を制御し、放電開始時の急激な出力変化を抑制する機能。通常は放電後の出力制御が一般的であるが、この機能では放電前に出力を制御することで、放電開始時の電力の急激な上昇を抑制し、放電の安定化を図る。

2. High Speed ARC Handling 設定に対する高精度な出力を実現し、正確な連続繰り返し再現性を持つ機能。保証値範囲が通常の10～100％ではなく、このパッケージを追加した機器では1％から保証。出力のばらつきが少なく、何千・何万回と繰り返すプロセスでも高い再現性を保つ。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
コンポーネント電源 DC電源 DC-Dシリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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コンポーネント電源 DC電源 DC-Dシリーズ品番4件

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品番	価格 (税抜)	メーカー	入力電圧	変動範囲	相数、周波数	入力接続部	入力容量	最大定格電力	定格電流	定格電圧	ARC制御	出力接続部	制御方式	電力制御精度定格電力の1～10％未満	電力制御精度定格電力の10％以上	電力制御保証範囲	並列運転	外部制御	冷却方式	外形寸法	質量	適合規格	適合規格動作周囲温度	適合規格動作環境
DC-10-D	要見積もり	(株) アルバック	AC208V	AC187V~229V	3相 50/60Hz	コネクタ	13.5kVA以下 25kVA以下	10kW	25A	800V	ARC検出時に、Low ARC回路動作及びInverter停止	コネクタ	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	設定値の±5％以下	定格の±0.5％以下、または設定値の±1％以下のうちどちらか大きいほう	定格電力の10-100% (オプション：1-100%)	最大12台	アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485/EtherCAT *4	強制空冷	483mm (W) ×630mm (D) ×133mm (H) 以内※突起物を含まず	29kg	RoHS、CE (EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1) 、SEMI F47	動作周囲温度 5℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。
DC-10-DH	要見積もり	(株) アルバック	AC208V	AC187V~229V	3相 50/60Hz	コネクタ	13.5kVA以下 25kVA以下	10kW	18A	1,000V	ARC検出時に、Low ARC回路動作及びInverter停止	コネクタ	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	設定値の±5％以下	定格の±0.5％以下、または設定値の±1％以下のうちどちらか大きいほう	定格電力の10-100% (オプション：1-100%)	最大12台	アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485/EtherCAT *4	強制空冷	483mm (W) ×630mm (D) ×133mm (H) 以内※突起物を含まず	29kg	RoHS、CE (EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1) 、SEMI F4	動作周囲温度 5℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。
DC-20-D	要見積もり	(株) アルバック	AC208V	AC187V~229V	3相 50/60Hz	コネクタ	13.5kVA以下 25kVA以下	10kW	50A	800V	ARC検出時に、Low ARC回路動作及びInverter停止	コネクタ	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	設定値の±5％以下	定格の±0.5％以下、または設定値の±1％以下のうちどちらか大きいほう	定格電力の10-100% (オプション：1-100%)	最大12台	アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485/EtherCAT *4	強制空冷	483mm (W) ×630mm (D) ×133mm (H) 以内※突起物を含まず	36kg	RoHS、CE (EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1) 、SEMI F47	動作周囲温度 5℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。
DC-20-DH	要見積もり	(株) アルバック	AC208V	AC187V~229V	3相 50/60Hz	コネクタ	13.5kVA以下 25kVA以下	10kW	40A	1,000V	ARC検出時に、Low ARC回路動作及びInverter停止	コネクタ	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	設定値の±5％以下	定格の±0.5％以下、または設定値の±1％以下のうちどちらか大きいほう	定格電力の10-100% (オプション：1-100%)	最大12台	アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485/EtherCAT *4	強制空冷	483mm (W) ×630mm (D) ×133mm (H) 以内※突起物を含まず	36kg	RoHS、CE (EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1) 、SEMI F47	動作周囲温度 5℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。