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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kWカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | DC-出力 | |
|---|---|---|---|---|
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HX150/400 (13Z010) |
要見積もり |
15kW 400V 80A |
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HX150/500 (13Z020) |
要見積もり |
15kW 500V 60A |
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HX150/600 (13Z030) |
要見積もり |
15kW 600V 50A |
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HX150/800 (13Z040) |
要見積もり |
15kW 800V 30A |
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HX150/1000 (13Z050) |
要見積もり |
15kW 1000V 25A |
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HX200/500 (13Z100) |
要見積もり |
20kW 500V 70A |
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HX200/800 (13Z110) |
要見積もり |
20kW 800V 40A |
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HX200/1000 (13Z120) |
要見積もり |
20kW 1000V 35A |
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HX250/500 (13Z190) |
要見積もり |
25kW 500V 80A |
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HX250/800 (13Z200) |
要見積もり |
25kW 800V 50A |
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出力電圧 V
0 - 10 10 - 40 40 - 100 100 - 200 200 - 1000 1000 - 2000 2000 - 25000出力電流 A
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 600 600 - 2000入力電圧 V
80 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600定格電力 kW
0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 150リップルノイズ mV
0 - 5 5 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1000 1000 - 2600負荷変動率 mA
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 200 200 - 300チャンネル数
0 - 3 3 - 15
