水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-HX150/400 (13Z010)

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

幅218mm、高さ222mmという、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、マウンティングフランジを備えており、プラズマチャンバーのいかなる場所にも設置できます。その制御ディスプレイは、表示角度を調節でき、また必要に応じ、本体から切り離すことも可能です。

効率的な水冷システムは、空調が効いていない環境でも高い信頼性を発揮します。冷却水の凝集を防ぐため、内蔵の温度制御デバイスを介し、エクスターナル磁気バルブを接続可能です。

総出力は、並列接続で、280kWまで拡張可能です。特殊な回路設計は、マスターースレイブ運用はもちろん、インターフェースコンバイナー、あるいはPLCを介しての並列接続も可能です。その究極に早いアーク制御は、完全自動で実施される為、ユーザーでの細かいパラーメータ設定は一切不要です。

■特徴・出力15kWから35kWまで全15モデル
・並列接続で280kWまで拡張可能
・水冷冷却
・マグネティックバルブ制御
・粉塵除去換気機構内蔵
・高さ222mmｘ幅218mmｘ奥行645mm
・フランジ搭載可能
・クレーンアイを接続するためのM8メネジ
・角度可変並びに分離可能なディスプレイ
・完全自動アーク制御

このAM2/3は、同シリーズの同型DC電源 (GX、HX、GSW) 、3台までをパラレル接続し出力を拡張できます。その際のコントローラーはひとつに統合されます。またこれらのDC電源は、パルスジェネレーターとも連携でき、このAM2/3インターフェースコンバイナーを介して一括して制御可能となります。例えば、HX350 /800の場合であれば、中心周波数で、105kWまで拡張可能です。

MS4インターフェースコンバイナーは、同型のパワーサプライを、4台までマスターースレイブ接続可能にします。例えば、4台のHX350を連携させた場合、140kWまで出力を拡張できます。出力がそれでも不十分の場合、S4インターフェースエクステンションを用いれば、最大8台までの電源を連携でき、その場合は、280kWまで出力拡張可能です。

また、パルスジェネレータとも連携接続可能で、MS4インターフェースコンバイナー経由で一括制御可能となります。この場合、中心周波数で、280kWまで拡張可能です。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

電源

DC電源

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大手企業・中小企業・研究機関等の、エンジニア・研究者・購買担当者など幅広い方々にご利用頂いております。

品番	価格 (税抜)	DC-出力 15kW 400V 80A 15kW 500V 60A 15kW 600V 50A 15kW 800V 30A 15kW 1000V 25A 20kW 500V 70A 20kW 800V 40A 20kW 1000V 35A 25kW 500V 80A 25kW 800V 50A
HX150/400 (13Z010)	要見積もり	15kW 400V 80A
HX150/500 (13Z020)	要見積もり	15kW 500V 60A
HX150/600 (13Z030)	要見積もり	15kW 600V 50A
HX150/800 (13Z040)	要見積もり	15kW 800V 30A
HX150/1000 (13Z050)	要見積もり	15kW 1000V 25A
HX200/500 (13Z100)	要見積もり	20kW 500V 70A
HX200/800 (13Z110)	要見積もり	20kW 800V 40A
HX200/1000 (13Z120)	要見積もり	20kW 1000V 35A
HX250/500 (13Z190)	要見積もり	25kW 500V 80A
HX250/800 (13Z200)	要見積もり	25kW 800V 50A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW
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■特徴

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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW 品番10件

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HX150/800 (13Z040)

HX150/1000 (13Z050)

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