水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
■特徴
・出力15kWから35kWまで全15モデル ・並列接続で280kWまで拡張可能 ・水冷冷却 ・マグネティックバルブ制御 ・粉塵除去換気機構内蔵 ・高さ222mmｘ幅218mmｘ奥行645mm ・フランジ搭載可能 ・クレーンアイを接続するためのM8メネジ ・角度可変並びに分離可能なディスプレイ ・完全自動アーク制御 このAM2/3は、同シリーズの同型DC電源 (GX、HX、GSW) 、3台までをパラレル接続し出力を拡張できます。その際のコントローラーはひとつに統合されます。またこれらのDC電源は、パルスジェネレーターとも連携でき、このAM2/3インターフェースコンバイナーを介して一括して制御可能となります。例えば、HX350 /800の場合であれば、中心周波数で、105kWまで拡張可能です。 MS4インターフェースコンバイナーは、同型のパワーサプライを、4台までマスターースレイブ接続可能にします。例えば、4台のHX350を連携させた場合、140kWまで出力を拡張できます。出力がそれでも不十分の場合、S4インターフェースエクステンションを用いれば、最大8台までの電源を連携でき、その場合は、280kWまで出力拡張可能です。 また、パルスジェネレータとも連携接続可能で、MS4インターフェースコンバイナー経由で一括制御可能となります。この場合、中心周波数で、280kWまで拡張可能です。 ※ほかにも型番がございます。-
シリーズ
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW
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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW 品番10件
各品番毎の詳細は品番をクリックしてください
| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | DC-出力 |
|---|---|---|---|---|
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HX150/400 (13Z010) |
要見積もり | 15kW 400V 80A | |
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HX150/500 (13Z020) |
要見積もり | 15kW 500V 60A | |
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HX150/600 (13Z030) |
要見積もり | 15kW 600V 50A | |
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HX150/800 (13Z040) |
要見積もり | 15kW 800V 30A | |
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HX150/1000 (13Z050) |
要見積もり | 15kW 1000V 25A | |
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HX200/500 (13Z100) |
要見積もり | 20kW 500V 70A | |
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HX200/800 (13Z110) |
要見積もり | 20kW 800V 40A | |
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HX200/1000 (13Z120) |
要見積もり | 20kW 1000V 35A | |
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HX250/500 (13Z190) |
要見積もり | 25kW 500V 80A | |
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HX250/800 (13Z200) |
要見積もり | 25kW 800V 50A |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 千葉県