全てのカテゴリ

閲覧履歴

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-HX150/400 (13Z010)
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

幅218mm、高さ222mmという、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、マウンティングフランジを備えており、プラズマチャンバーのいかなる場所にも設置できます。その制御ディスプレイは、表示角度を調節でき、また必要に応じ、本体から切り離すことも可能です。 効率的な水冷システムは、空調が効いていない環境でも高い信頼性を発揮します。冷却水の凝集を防ぐため、内蔵の温度制御デバイスを介し、エクスターナル磁気バルブを接続可能です。 総出力は、並列接続で、280kWまで拡張可能です。特殊な回路設計は、マスターースレイブ運用はもちろん、インターフェースコンバイナー、あるいはPLCを介しての並列接続も可能です。その究極に早いアーク制御は、完全自動で実施される為、ユーザーでの細かいパラーメータ設定は一切不要です。

■特徴

・出力15kWから35kWまで全15モデル ・並列接続で280kWまで拡張可能 ・水冷冷却 ・マグネティックバルブ制御 ・粉塵除去換気機構内蔵 ・高さ222mmx幅218mmx奥行645mm ・フランジ搭載可能 ・クレーンアイを接続するためのM8メネジ ・角度可変並びに分離可能なディスプレイ ・完全自動アーク制御 このAM2/3は、同シリーズの同型DC電源 (GX、HX、GSW) 、3台までをパラレル接続し出力を拡張できます。その際のコントローラーはひとつに統合されます。またこれらのDC電源は、パルスジェネレーターとも連携でき、このAM2/3インターフェースコンバイナーを介して一括して制御可能となります。例えば、HX350 /800の場合であれば、中心周波数で、105kWまで拡張可能です。 MS4インターフェースコンバイナーは、同型のパワーサプライを、4台までマスターースレイブ接続可能にします。例えば、4台のHX350を連携させた場合、140kWまで出力を拡張できます。出力がそれでも不十分の場合、S4インターフェースエクステンションを用いれば、最大8台までの電源を連携でき、その場合は、280kWまで出力拡張可能です。 また、パルスジェネレータとも連携接続可能で、MS4インターフェースコンバイナー経由で一括制御可能となります。この場合、中心周波数で、280kWまで拡張可能です。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW

この製品を共有する


120人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


DC電源注目ランキング

もっと見る

DC電源の製品267点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

DC電源注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX150/400 (13Z010)

HX150/400 (13Z010)

要見積もり

15kW 400V 80A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX150/500 (13Z020)

HX150/500 (13Z020)

要見積もり

15kW 500V 60A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX150/600 (13Z030)

HX150/600 (13Z030)

要見積もり

15kW 600V 50A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX150/800 (13Z040)

HX150/800 (13Z040)

要見積もり

15kW 800V 30A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX150/1000 (13Z050)

HX150/1000 (13Z050)

要見積もり

15kW 1000V 25A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX200/500 (13Z100)

HX200/500 (13Z100)

要見積もり

20kW 500V 70A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX200/800 (13Z110)

HX200/800 (13Z110)

要見積もり

20kW 800V 40A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX200/1000 (13Z120)

HX200/1000 (13Z120)

要見積もり

20kW 1000V 35A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX250/500 (13Z190)

HX250/500 (13Z190)

要見積もり

25kW 500V 80A

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 15kW-35kW-品番-HX250/800 (13Z200)

HX250/800 (13Z200)

要見積もり

25kW 800V 50A

この商品を見た方はこちらもチェックしています

DC電源をもっと見る

スパッタリングコンポーネンツジャパンの取り扱い製品

スパッタリングコンポーネンツジャパンの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

Copyright © 2024 Metoree