水冷式スパッタDC電源 HXFシリーズ 15kW-30kW-HXF150/500 (13Z410)

水冷式スパッタDC電源 HXFシリーズ 15kW-30kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアークエネルギーを抑制します。HXFは、特に弊社のHXシリーズと、電気的そしてメカ的に互換性があり、また、パルスジェネレータとの連携用インターフェースを備えております。その小さな本体は、装置周辺機器への格納あるいは、チャンバー自体への直接取り付けを可能にします。

また非常に効率的な水冷システムは、エアコンによる室温制御が厳密になされていない環境下においても、最高のパフォーマンスを発揮します。水滴の凝集を防ぐため、エクスターナルマグネティックバルブが、内蔵の温度制御ユニットを介して接続可能です。また、並列接続で、最大240kWまで、出力拡張が可能です。

■特徴・15kWから30kWまでの出力、全6モデル
・並列接続で240kWまで拡張可能
・水冷方式
・磁気バルブ制御
・パーティクル除去機構
・高さ222mmｘ奥行645mmｘ幅218mmのコンパクト設計
・装置へ直接フランジ搭載可能
・クレーンアイ取付用M8メネジ付き
・脱着可能、回転可能なディスプレイ
・異常放電完全自動制御

型番
この商品には6種類の型番があります

シリーズ
水冷式スパッタDC電源 HXFシリーズ 15kW-30kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

電源

DC電源

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水冷式スパッタDC電源 HXFシリーズ 15kW-30kW 品番6件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 15kW 500V 60A 15kW 400V 50A 15kW 800V 30A 20kW 800V 40A 25kW 800V 50A 30kW 800V 60A
HXF150/500 (13Z410)	要見積もり	15kW 500V 60A
HXF150/600 (13Z420)	要見積もり	15kW 400V 50A
HXF150/800 (13Z430)	要見積もり	15kW 800V 30A
HXF200/800 (13Z460)	要見積もり	20kW 800V 40A
HXF250/800 (13Z480)	要見積もり	25kW 800V 50A
HXF300/800 (13Z490)	要見積もり	30kW 800V 60A