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水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-HX900 (14Z110)
水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

非リアクティブプロセスにおいて、HX900 からHX1400のモデルは、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザーの様々なアプリケーションや仕様に合わせ、その電源構成を柔軟に変えることが可能です。アーク制御機構は、重要なプロセス異常を自動で瞬時に検知し、抑制します。 調整やプログラミングは一切不要な為、オペレーションを簡素化でき、また異なるターゲットを使用する際も、そのままの初期設定でご利用頂けます。高効率な冷却性能は、エアコンが完備されていない環境下でも長い期間安定してご使用いただけます。

■特徴

・出力90kW-140kW (4モデル) ・冷却水 ・磁気バルブ制御 ・長さ4メータまでのカソード向け、非リアクティブプロセスに最適 ・高速酸化除去機能 ・完全自動アーク制御 (40,000アーク/秒まで) ・自動出力補正 ・高いパワー効率 (95%)

  • シリーズ

    水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW

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水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-品番-HX900 (14Z110)

HX900 (14Z110)

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90kW 800V 180A

水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-品番-HX1050 (14Z120)

HX1050 (14Z120)

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105 kW 800V 210A

水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-品番-HX1200 (14Z130)

HX1200 (14Z130)

要見積もり

120kW 800V 240A

水冷式スパッタDC電源  HXシリーズ 90kW-140kW-品番-HX1400 (14Z140)

HX1400 (14Z140)

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140kW 800V 280A

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