水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW-HX900 (14Z110)

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

非リアクティブプロセスにおいて、HX900 からHX1400のモデルは、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザーの様々なアプリケーションや仕様に合わせ、その電源構成を柔軟に変えることが可能です。アーク制御機構は、重要なプロセス異常を自動で瞬時に検知し、抑制します。

調整やプログラミングは一切不要な為、オペレーションを簡素化でき、また異なるターゲットを使用する際も、そのままの初期設定でご利用頂けます。高効率な冷却性能は、エアコンが完備されていない環境下でも長い期間安定してご使用いただけます。

■特徴・出力90kW-140kW (4モデル) 
・冷却水
・磁気バルブ制御
・長さ4メータまでのカソード向け、非リアクティブプロセスに最適
・高速酸化除去機能
・完全自動アーク制御 (40,000アーク/秒まで) 
・自動出力補正
・高いパワー効率 (95％) 

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

カテゴリ

電源

DC電源

この商品に関する問題を報告する

90人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

水冷式スパッタDC電源 HXシリーズ 90kW-140kW 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	DC-出力 90kW 800V 180A 105 kW 800V 210A 120kW 800V 240A 140kW 800V 280A
HX900 (14Z110)	要見積もり	90kW 800V 180A
HX1050 (14Z120)	要見積もり	105 kW 800V 210A
HX1200 (14Z130)	要見積もり	120kW 800V 240A
HX1400 (14Z140)	要見積もり	140kW 800V 280A