ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-SD 30 (11Z010)
ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

このパルスジェネレータは、ADL社製DC電源との連携により、ユニポーラパルスを発生させます。ADL社パルスジェネレータは、20kHz固定となります。シグナルジェネレータを外付けすれば、1kHzから40kHz程度まで可変できます。このパルスジェネレータは、自動アーク制御機構を備えております。 トリップレベル並びにブレイクタイムのパラメータは、プロセス状況に応じ、自動で制御されます。ユーザーでのプログラミングは、一切必要ありません。自動同調に関しては、複数のパルスジェネレータを、コントロールケーブルを介して連携可能です。この場合、そのパルスジェネレータは、自動で外部同調モードに切り替わります。

■特徴

・出力、3kW、15kW、30kW (3モデル) ・240kWまでの並列接続可能 ・完全自動アーク制御 ・空冷 ・コンパクトデザイン (mm) :奥行674x幅167x高さ127 ・フローティングアウトプット

  • シリーズ

    ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW

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ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW 品番3件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 出力
ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 30 (11Z010)

SD 30 (11Z010)

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ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 150 (11Z015)

SD 150 (11Z015)

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ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 300 (11Z035)

SD 300 (11Z035)

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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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