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ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-SD 30 (11Z010)
ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

このパルスジェネレータは、ADL社製DC電源との連携により、ユニポーラパルスを発生させます。ADL社パルスジェネレータは、20kHz固定となります。シグナルジェネレータを外付けすれば、1kHzから40kHz程度まで可変できます。このパルスジェネレータは、自動アーク制御機構を備えております。 トリップレベル並びにブレイクタイムのパラメータは、プロセス状況に応じ、自動で制御されます。ユーザーでのプログラミングは、一切必要ありません。自動同調に関しては、複数のパルスジェネレータを、コントロールケーブルを介して連携可能です。この場合、そのパルスジェネレータは、自動で外部同調モードに切り替わります。

■特徴

・出力、3kW、15kW、30kW (3モデル) ・240kWまでの並列接続可能 ・完全自動アーク制御 ・空冷 ・コンパクトデザイン (mm) :奥行674x幅167x高さ127 ・フローティングアウトプット

  • シリーズ

    ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW

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ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 30 (11Z010)

SD 30 (11Z010)

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20kHz 800V 3kW

ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 150 (11Z015)

SD 150 (11Z015)

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20kHz 800V 15kW

ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ 3kW-30kW-品番-SD 300 (11Z035)

SD 300 (11Z035)

要見積もり

20kHz 800V 30kW

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